传感器的制造技艺

传感器的制造技艺

时间:2012-12-11 09:13 来源: 编辑:美高梅手机版登录4858 点击:
    传感器技艺的发扬依赖于传感器制造技艺的发扬.随着传感器持续向半导体化、集成化、小型化和智能化方向发扬,传感器制造技艺首要是微系统技艺(或称为微机械加工技艺)。微系统技艺不但指组成微系统的部件是用微机械加工制成的,而且这些部件组合成系统也是采用微机械加工技艺。它是集微机械、微电子、微光学和数据处置App等为一体的一门综合技艺。微系统技艺包括组成板统的各个部件及子系统的加工工艺和将它们集成到一起形成完整系统的加工工艺
    1.部件及子系统首要涉及的技艺
   1)半导体工艺:
   2)硅微机械加工技艺
   3)集成光学技艺:
   4)厚膜一薄膜技艺
   5)毫微技艺
   6)刻蚀技艺:
   7) X射线深层光刻电铸形成耳IGA)技艺:
   8)激光加工技艺
    2.系统的集成包括系统的底盘、组装和连线、首要涉及的技艺
   1)硅技艺、厚膜薄膜技艺、微机械加工技艺和激光加工技艺等
   2)键合首要有芯片黏接、共熔键合、焊接、玻璃封接、静电封接等技艺:
   3)接线首要有压焊、倒装式焊接、TAB〔带自动焊接)等技艺
    当传感器用石英、陶瓷、高分子聚合物和金属材料为基底时,还要用到超精密机械加工

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